Промышленная система охлаждения Эпсилон Frost™ для завода компании «Вартон»
г. Обнинск
Исследовательское направлениеПроизводственные предприятия
Задача
Реализация системы водяного охлаждения: модулей роста и модулей напыления.
Решение
Выполнена проектная рабочая документация, монтажные и пусконаладочные работы по
разделам: система холодоснабжения, электроснабжение системы холодоснабжения, автоматизация систем холодоснабжения, КЖ, КМ.
Для системы охлаждения, поставлено следующее оборудование:
- Холодильная машина Эпсилон Frost™ с опцией Free Cooling NRL 650FA (AERMEC) – 2 шт.
- Пластинчатый теплообменник M6-FG -416кВт (ALFA LAVAL) - 1 шт.
- Пластинчатый теплообменник T5-BFG-60кВт, (ALFA LAVAL) – 1 шт.
- Насосная установка, на базе насосов EBARA, Альфа Stream™ СПДкс 4 3M 40-125 2,2кВт КЧ4 100 мм, бак 100 л - 1 шт.
- Насосная установка Альфа Stream™ СПДс 2 3LM 40-125 2,2 кВт К 80 мм - 1 шт.
- Насосная установка Альфа Stream™ СПДс 2 3LM 40-200 7,5 кВт КЧ 80 мм - 1 шт.
- Насосная установка Альфа Stream™ CПДс 2 EVMSL 10-7 3 кВт КЧ 50 мм - 1 шт.
- Насосная установка Альфа Stream™ CПДс 2 EVMSL 1-0,37кВт КЧ 50 мм - 1 шт.
- Насосная установка Альфа Stream™ CПДс 2 EVMSL 3-3 0,37 кВт К 50 мм - 1 шт.
- Насосная установка Альфа Stream™ CПДс 2 EVMSL 3-3 0,37 кВт К 50 мм - 1 шт.
- Насосная установка Альфа Stream™ CПДс 2 EVMSL 3-10 1,1 кВтКЧ50 мм - 1 шт.
- Шкаф Омега Control® АШУ 23-54К-АСХС - 1 шт.
- Шкаф Омега Control® АШУ 23-54К-АСХС-HMI - 1 шт.
- Комплект запорно-регулирующей арматуры, трубопроводы (AISI 316L).
Компания «Вартон» - это инновационная компания занимающаяся производством осветительных приборов.
Производственные мощности располагаются на территории Российской Федерации.
Задача перед нашей компанией стояла нестандартная.
Реализация системы водяного охлаждения модулей роста и модулей напыления.
Основная сложность заключалась в том, что система содержит в себе несколько контуров с разными
параметрами химического состава, давления, расхода и температуры воды на входе и выходе каждого контура:
1 контур - ростовые установки PVA Tepla - 3 шт.
2 контур - контур водяного охлаждения шкафов, электроники и насосов эпитаксиальной установки Aixtron.
3 контур - контур водяного охлаждения реактора эпитаксиальной установки Aixtron
4 контур - контур водяного охлаждения ВЧ-генератора эпитаксиальной установки Aixtron
5 контур - контур водяного охлаждения робота-загрузчика (transfer module).
6 контур - контур водяного охлаждения эпитаксиальной установки MBE Riber 49.
Выполнена проектная рабочая документация, монтажные и пусконаладочные работы по разделам:
Производственные мощности располагаются на территории Российской Федерации.
Задача перед нашей компанией стояла нестандартная.
Реализация системы водяного охлаждения модулей роста и модулей напыления.
Основная сложность заключалась в том, что система содержит в себе несколько контуров с разными
параметрами химического состава, давления, расхода и температуры воды на входе и выходе каждого контура:
1 контур - ростовые установки PVA Tepla - 3 шт.
2 контур - контур водяного охлаждения шкафов, электроники и насосов эпитаксиальной установки Aixtron.
3 контур - контур водяного охлаждения реактора эпитаксиальной установки Aixtron
4 контур - контур водяного охлаждения ВЧ-генератора эпитаксиальной установки Aixtron
5 контур - контур водяного охлаждения робота-загрузчика (transfer module).
6 контур - контур водяного охлаждения эпитаксиальной установки MBE Riber 49.
Выполнена проектная рабочая документация, монтажные и пусконаладочные работы по разделам:
- система холодоснабжения;
- электроснабжение системы холодоснабжения;
- автоматизация систем холодоснабжения;
- КЖ;
- КМ.
- Холодильная машина Эпсилон Frost™ с опцией Free Cooling NRL 650FA (AERMEC) – 2 шт.
- Пластинчатый теплообменник M6-FG -416кВт (ALFA LAVAL) - 1 шт.
- Пластинчатый теплообменник T5-BFG-60кВт (ALFA LAVAL) – 1 шт.
- Насосная установка, на базе насосов EBARA, Альфа Stream™ СПДкс 4 3M 40-125 2,2кВт КЧ4 100 мм,бак 100 л - 1 шт.
- Насосная установка, на базе насосов EBARA, Альфа Stream™ СПДс 2 3LM 40-125 2,2 кВт К 80 мм - 1 шт.
- Насосная установка, на базе насосов EBARA, Альфа Stream™ СПДс 2 3LM 40-200 7,5 кВт КЧ 80 мм - 1 шт
